超精密抛光是加工速度极慢的一种加工方法。不适合形状范成法加工，近年来，由于短波长光学元件、OA仪器和AV机器等的飞速发展，对零件的表面粗糙度提出了更高的要求，到目前为止还没有比超精密抛光更好的实用的方法，尤其当零件的表面粗糙度要求优于0.0lμm时，这种方法是不可缺少的，对形状精度要求很高的工件，如果采用强制进给的方法进行切削或进行磨削时，其形状精度将直接受到机床进给定位精度的影响，达到所在反应，并由此引起的加工作用，在工件表面上存在同样微小凹的部分，在一般情况下，只能获得波纹起伏较大的表面。

  日本大阪大学工学部森勇芷教授等人利用EEM开发了一种三轴(x、z、C)数控光学表面范成装置，利用该装置加工时，一边在工件表面上控制聚胺脂球的滞留时间，一边用聚胺脂球扫描加工对象的物全领域，利用该装置能加工高精度的任意曲面。